研磨清洗剂主要由哪几部分组成?

     1. 研磨清洗剂及制备该复合研磨剂的组合物及方法
     2. 研磨剂、研磨剂的制造方法以及研磨方法
     3. 半导体用研磨剂、该研磨剂的制造方法和研磨方法
     4. 半导体装置的研磨剂和用研磨剂的半导体装置的制造方法
     5. 氧化铈研磨剂以及包含该研磨剂的浆料
     6. CMP研磨剂、CMP研磨剂用添加液以及使用了这些的基板的研磨方法
     7. 从研磨剂浆料废液中回收研磨剂的方法及装置
     8. 用于喷砂处理的研磨剂和使用该研磨剂的喷砂处理方法
     9. 钢珠研磨剂
    10. 在液体静电显影剂制备中作为研磨剂的含酸Ａ－Ｂ嵌段共聚物